Аварийный сигнал анормального увеличения емкости: Alarm: Capacitance abnormally became larger
Этот аварийный сигнал возникает, когда текущая емкость превышает начальное калибровочное значение или пороговое значение настройки.
Возможные причины:
- Лазерная головка касается пластины.
- Попадание воды в лазерную головку.
- Рассеянный свет лазера повышает температуру сопла и вызывает температурный дрейф.
- Давление при подаче газа изменяет зазор между соплом (положительный элемент) и корпусом лазерной головки (отрицательный элемент).